干式液氦温区探针台
干式液氦温区探针台是卓聚专为样品的非破坏检测和真空洁净而设计的，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。利用住友F-50连续流型、变温制冷系统，低温可达6k，同时配备自动温度控制器（稳定度为0.05 K)，带有触控界面和LabView驱动，工作温度范围在6 K to 400 K 。另加防辐射窗口可截断样品更大的热辐射，可测量更大的尺寸样品。
干式液氦温区探针台 产品优势
1.真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）；
2. 探针控制：标配6个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；
3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；
4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：30K~400K。控温稳定性优于±0.01K；
5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；
6. 系统直流漏电低于1pA；
7. 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。
干式液氦温区探针台产品参数
| 型号 | LTZ-6H-06 |
| 外形 | 838*800*1355 |
| 系统功率 | 2.5KW |
| 电压 | 380V三线交流 |
| X-Y轴行程定位精度 | ±0.01mm |
| 探针调节精度 | ±0.01mm |
| 腔体真空度 | 1.0*10^-6pa |
| 重量 | 200kg |
| 测试直径 | 6/8/12寸 |
| 探针轴行程 | 110mm |
| 探针XYZ行程 | 15mm |
| 制冷方式 | 干式液氦制冷 |
| X-Y轴额定速度 | 手动调节 |
| 腔体直径 | 245mm |
| 探针臂数量 | 6 |
| 冷头功率 | 1.5KW |
| 温度下限 | 3.5K |
| 探针臂 | 每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆 |
| 显微镜倍率 | 4X~9X（使用1X附加物镜时） |
| 地脚 | 底部塑胶减震地脚 |
| 探针频率 | 26GHz—100GHz（可选） |
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