化学气相沉积系统

多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统是由我团队成员自主研发，具有自主知识产权的产品。本系统具有低温无催化生长石墨烯，也可对石墨烯进行缺陷检测与修复及各向异性刻蚀等功能，也可用于生长其他二维材料。研究成果发表于各类顶级期刊。