SEM纳米探针台

该产品实现了三维空间上的准确定位，它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

该产品使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。