压电三轴纳米探针台
压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位，它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。
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通过压电纳米位移台的纳米精度定位，两个探针通过与样品接触，完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。
同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。
同时产品可以适配市面上大多数的SEM，例如：日本电子，日立，FEI,TESCAN等。
压电三轴纳米探针台技术参数
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