低温液氮探针台 低温液氦探针台特征 1.真空腔体:真空度优于6×10-3Pa。降温后优于6×10-4Pa。留有2个用户法兰接口(可接入气体或者额外的电缆); 2. 探针控制:标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节...