纳米位移台运动轨迹不直怎么回事
纳米位移台运动轨迹不直，通常来自以下几类原因叠加：
轴间耦合：只驱动一个方向，其他方向却跟着动。多见于柔性铰链解耦不彻底、压电堆安装偏心、结构刚度不对称。典型特征是轨迹呈稳定的斜线或弧线，重复性很强。
柔性结构或装配误差：铰链加工误差、装配预紧不均、台面受力不对称，会导致“先天不直”。这种情况与扫描速度关系不大，慢速也弯。
压电迟滞与蠕变：起步、换向或长时间运动后轨迹逐渐跑偏。开环比闭环严重，时间越长越明显。
驱动不一致（多致动器结构）：不同压电堆增益、行程或放大器输出不一致，运动中产生微旋转，看起来像走弯线。
控制带宽不足：速度一快就不直，减速后明显改善。属于动态误差，控制跟不上指令。
扫描波形问题：锯齿波、急加减速、无平滑过渡，换向瞬间容易偏航。
位置传感器问题：传感器非线性、安装偏心或标定不全行程，会“测歪→控歪”。
热漂移与环境影响：自热、温漂、气流、振动导致轨迹缓慢弯曲，重复性较差。