使用纳米位移台进行三维定位时应注意什么？
使用纳米位移台进行三维定位时，精度、稳定性和操作策略尤为重要。以下是几个关键注意事项：
1. 坐标系一致性与校准：
确保三维运动的 X、Y、Z 轴定义清晰，坐标系与样品和观测设备（如显微镜或探测器）对齐。在开始三维定位前，应进行原点设置和零位校准，以防坐标偏移引起位置误判。
2. 轴间干扰控制：
某些结构设计中，Z 轴运动可能引起 X、Y 平面的微小变化，称为轴间耦合。应选择高精度解耦结构的位移台，或在运动路径设计中进行补偿。此外，在进行精细 Z 向调整时应尽量避免同时快速移动其他轴。
3. 防止热漂移：
长时间操作或高频扫描会导致平台或周围结构升温，引起热膨胀，进而影响三维定位的重复性。应保持环境温度稳定，避免频繁高速运动导致的热效应。如果系统支持温度补偿或恒温控制，应加以启用。
4. 运动路径设计与速度控制：
三维路径设计应尽量平滑，避免突然加减速或急转方向。在进行三轴联动时，设置合理的加速度限制，确保不会因系统惯性导致震动或误差。此外，Z 轴移动应特别小心，以免碰撞探针或样品。
5. 反馈传感器与闭环控制：
优先使用配有高分辨率反馈器（如电容传感器或干涉仪）的闭环控制系统进行三维定位，能够实时修正位置误差，大幅提升精度和稳定性。注意校验三轴反馈的线性度和校准状态。
6. 软件协同与位置映射：
使用控制软件进行三维路径规划和目标点设置时，确保每次移动都与实际平台响应一致。如果搭配其他设备（如扫描电镜或探针）使用，需验证三维定位结果与图像坐标之间的映射关系是否准确。
7. 载荷影响与平台刚性：
样品本身的重量和安装方式会影响平台的三维响应特性。负载偏心或不平衡会引起倾斜或局部变形，尤其是在Z轴方向。确保平台承重合理并使用专用样品托架。