纳米位移台运动时信号抖动，一般指位置反馈、电流、电压或测量信号出现高频波动或随机噪声，常见原因主要集中在以下几方面（按实际工程中出现频率）： 机械共振被激发 运动速度、加速度或扫描频率接近位移台固有频率，柔性铰链或台体产生微振动，直接反映到位置或传感信号上。典型特征是抖动有固定频率，速度一变频率也...

纳米位移台运动轨迹不直，通常来自以下几类原因叠加： 轴间耦合：只驱动一个方向，其他方向却跟着动。多见于柔性铰链解耦不彻底、压电堆安装偏心、结构刚度不对称。典型特征是轨迹呈稳定的斜线或弧线，重复性很强。 柔性结构或装配误差：铰链加工误差、装配预紧不均、台面受力不对称，会导致“先天不直”。这种情况与扫描...

纳米位移台运动时噪声突然变大，通常是系统状态或环境变化引起的，需要从机械、电气和环境三方面排查。 机械问题：导轨松动、滑块润滑不足或螺丝松动，会导致运动时产生异常噪声。长时间使用后，磨损或灰尘进入也会加剧噪声。 驱动器或控制器异常：电机供电不稳定、驱动电流波动或闭环控制信号异常，都会使台体振动增加...

纳米位移台可以实现等速扫描，但需要合理的控制方式和参数设置。 在闭环控制条件下，位移台可通过速度控制或位置插补，实现一段稳定的匀速运动区间，常用于表面轮廓扫描、显微成像或同步信号采集。等速扫描通常出现在加速完成后的中间行程，而不是整个运动过程。 需要注意的是，起始和结束阶段不可避免存在加减速段，真...

纳米位移台对温度是比较敏感的，温度变化往往会直接影响其定位精度和稳定性。 首先是热膨胀效应。位移台本体、导轨和安装结构在温度变化时会发生微小膨胀或收缩，在纳米级精度下，这种变化会直接表现为位置漂移或零点偏移。 其次是驱动与传感器受温度影响。压电驱动、电机和位置传感器在温度变化时，其响应特性和输出信...

纳米位移台的运动曲线设定，核心目的是在速度、精度和稳定性之间取得平衡。 首先是运动曲线类型选择。常见有梯形速度曲线和 S 型曲线。梯形曲线设置简单，但加速度突变，容易引起振动；S 型曲线加速度变化平滑，更适合纳米级定位和扫描应用。 其次是速度与加速度参数。速度不宜设得过高，否则会放大结构振动和跟踪误差；...