纳米位移台的侧向误差 是指 在位移过程中，除了预定的纵向移动外，还伴随有水平或垂直方向的误差，这可能影响纳米位移台的定位精度。侧向误差常见于 压电驱动、电磁驱动和螺杆驱动 的纳米位移台，尤其是在操作时。以下是一些消除侧向误差的方法： 侧向误差的原因： 机械设计缺陷：支撑结构不对称或刚性不足，导致在单轴...

选择纳米位移台驱动方式 时，载荷特性（如 重量、惯性、刚性、精度要求、速度要求 等）起着关键作用。常见的驱动方式有 压电驱动、电磁驱动、音圈驱动、螺杆驱动 等。以下是根据不同载荷特性选择驱动方式的详细指南: 1. 根据载荷重量选择驱动方式 (1) 轻载 (< 100 g) 驱动: 压电驱动 (Piezoelectric Drive) 原因:具有...

避免纳米位移台的机械共振现象，对于提高其精度和稳定性至关重要。共振会导致位置误差、振荡和控制失稳，尤其在高频操作时更加明显。以下是一些有效的策略与方法，帮助减少或避免机械共振问题： 1. 调节驱动频率（避开共振频率） 原理： 每个纳米位移台都有固有的共振频率（自然频率）。 驱动频率接近共振频率时，容易引...

纳米位移台的行程范围（travel range）通常根据其设计类型、应用场景和驱动方式的不同而有所差异。以下是常见类型的纳米位移台及其典型行程范围： 1. 压电驱动纳米位移台（Piezo Stage） 行程范围： 5 µm 到 500 µm（部分特殊设计可达 1 mm 或更高）。 特点：精度高，可达纳米级甚至亚纳米级。 行程通常较短，适合高精度...